Ozon-Wasseraufbereitungssystem PAP-SC-200

ANSEROS-ozone-water-system-PAP-SC-200-neu

OZON-WASSERAUFBEREITUNGSSYSTEM
PAP-SC-200

PRODUKTDETAILS

In der Halbleiterverarbeitung ist ein vollständig reines Ozonsystem unabdingbar. Jegliche Metalle und Teilchen, die während des Prozesses (Wafer/IMEC/RCA/SOM, etc.) aus dem Ozonsystems auf die Halbleiteroberflächen emittiert würden, würden die Qualität des Mikrochips beeinträchtigen. Einschließlich ihrer Komponenten – wie beispielsweise des Ozongenerators COM-AD oder des Ozonmonitors WM -, sind die Anseros Wassersysteme PAP-SC vollständig frei von Metallen in Kontakt mit Ozon. Sie sind geeignet für saubere Nass- und Trockenverarbeitung, gleichgültig, ob mit oder ohne Säuren. Zur Gewährleistung der Sicherheit umfasst das PAP-SC System einen Ozonzerstörer CAT-HO.

ANWENDUNGEN

+ IMEC- und RCA-Reinigungsverfahren
+ UPW-Systeme
+ Advanced Oxidation Processes AOP
+ Drei-Phasen-Systeme
+ Biologischer Abbau DOC
+ Sterilisation
+ CIP-Reinigung

TECHNISCHE DATEN

Gasfluss: 100 …. 1000 Nl/h
O3: 100 – 300 g O3 / m3
Material in Kontakt mit Ozon: PFA, Quarz
Abmessungen: H760/B600/T220 mm
Anschluss Einlass/Auslass: ¼” – 6/4 PFA-Rohr
Gewicht: 40 kg
Stromversorgung: 230 VAC-50/60Hz

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