{"id":2537,"date":"2014-03-15T16:15:17","date_gmt":"2014-03-15T14:15:17","guid":{"rendered":"http:\/\/progwarts.de\/?page_id=2537"},"modified":"2022-05-02T11:40:50","modified_gmt":"2022-05-02T09:40:50","slug":"hochreine-ozonherstellung-fuer-halbleiter","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/anseros-systeme.de\/de\/ozonanwendungen\/hochreine-ozonherstellung-fuer-halbleiter\/","title":{"rendered":"Halbleiterindustrie"},"content":{"rendered":"
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Ozon zur Oxidation und Sterilisation in der Waferherstellung (SC)<\/strong><\/h2>

Die Produktion der hochempfindlichen Siliziumplatten erfordert einen hohen Qualit\u00e4tsstandard<\/strong> mit hochreinen Fertigungsprozessen<\/strong>. <\/br> <\/br> Zu Qualit\u00e4tsverbesserung<\/strong> der Leiterplatinen werden die Wafer- Oberfl\u00e4chen gereinigt. Standardm\u00e4\u00dfig werden an dieser Stelle chemische L\u00f6sungen zur Fl\u00e4chenreinigung eingesetzt. Diese Sterilisationsverfahren haben sich jedoch als \u00e4u\u00dferst umweltsch\u00e4dlich und ineffizient. Stattdessen hat sich die Anwendung von Ozon im Produktionsprozess<\/strong> als optimale Alternative gegen\u00fcber den Standardmethoden stark bew\u00e4hrt gemacht. Neben dem geringen Chemikalienverbrauch<\/strong> sowie die damit verbundenen Kosten wird die Prozessleistung gesteigert<\/strong>. <\/br> <\/br>Mit dem Einsatz von Ozon werden insbesondere auftretende Substanzen im Oxidations- und Nassreinigungsprozess<\/strong> restlos gel\u00f6st. Organische und metallische Schadstoffe<\/strong> werden mit dem hohen Ozonanteil in der Wasserphase oxidiert. Jegliche R\u00fcckst\u00e4nde werden damit auf dem Wafer vermieden. Dar\u00fcber hinaus wird bereits die Ozontechnik bei anorganischen Stoffen<\/strong> im festen Zustand angewendet. So wird Ozon f\u00fcr die Entfernung von Photoresist-Beschichtungen<\/strong> und die Oxidation von Silikon<\/strong> verwendet. Zum anderen findet die Ozonisierung<\/strong> bei der Aufbereitung von deionisierten Wasser (DI)<\/strong> statt, um das Auftreten von mikrobiologischen Kulturen<\/strong> zu bek\u00e4mpfen. [1] [2] [3]<\/p>\n<\/div>

<\/i><\/i><\/span>Please contact us for further details.<\/span><\/a><\/div>
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